氧化銦錫(Indium Tin Oxide, ITO)是氧化銦(In2O3)中加入氧化錫(SnO2)中,常見SnO2的添加比例為5~10 wt%
ITO薄膜具有以下特性:
- 電阻係數10-4~10-5Ω-㎝
- 高可見光穿透率達90%
- 可被酸蝕刻圖形化
- 化學穩定性
- 耐候性佳等特性
因此,ITO是已在產業界上最被廣泛使用的透明導電氧化物(Transparent conducting oxide, TCO)材料,ITO玻璃且被廣泛應用於透明加熱元件、抗靜電薄膜、電磁波防護薄膜等電子、光學及光電裝罝上。近期,ITO玻璃也被應用於智慧調光窗戶和太陽能電池等產業。