業界有許多方法被用來製備ITO玻璃,如
- 化學氣相沈積法(chemical vapor deposition)
- 電化學法(electro-deposition)
- 熱蒸鍍(thermal evaporation)/真空蒸鍍(vacuum evaporation)
- 濺鍍(sputtering)
- 脈衝式雷射沈積法(pulsed laser deposition, PLD)
- 噴霧裂解法(spray pyrolysis)
- 溶膠-凝膠法(sol-gel)
- 塗佈(coating)
- 熱氧化法(thermal oxidation)等