製備ITO玻璃方式


業界有許多方法被用來製備ITO玻璃,如

  1. 化學氣相沈積法(chemical vapor deposition)
  2. 電化學(electro-deposition)
  3. 蒸鍍(thermal evaporation)/真空蒸鍍(vacuum evaporation)
  4. (sputtering)
  5. 脈衝式雷射沈積法(pulsed laser deposition, PLD)
  6. 噴霧裂解法(spray pyrolysis)
  7. -凝膠法(sol-gel)
  8. (coating)
  9. 氧化法(thermal oxidation)
上述各種製備薄膜的方法各有其優點目前產業界常被使用的方式為濺鍍法因具製程時間短、成膜的緻密性良好、薄膜附著性佳、製程溫度低、易大面積化以及多成分薄膜的均勻性良好等優點,是製備大尺寸ITO玻璃的最佳方法。