製備ITO玻璃方式

業界有許多方法被用來製備ITO玻璃，如

1. 化學氣相沈積法(chemical vapor deposition)
2. 電化學法(electro-deposition)
3. 熱蒸鍍(thermal evaporation)/真空蒸鍍(vacuum evaporation)
4. 濺鍍(sputtering)
5. 脈衝式雷射沈積法(pulsed laser deposition, PLD)
6. 噴霧裂解法(spray pyrolysis)
7. 溶膠-凝膠法(sol-gel)
8. 塗佈(coating)
9. 熱氧化法(thermal oxidation)等

上述各種製備薄膜的方法各有其優點，而目前在產業界上常被使用的方式為濺鍍法，因具製程時間短、成膜的緻密性良好、薄膜附著性佳、製程溫度低、易大面積化以及多成分薄膜的均勻性良好等優點，是製備大尺寸ITO玻璃的最佳方法。