酸化インジウムスズ(ITO)は、酸化スズ(SnO2)を酸化インジウム(In2O3)に添加したもので、SnO2の一般的な添加率は5〜10 wt%です。
ITO膜は以下の特性があります。
1. 低抵抗係数10-4~10-5Ω-㎝
2. 高透過率を持っています。
3. 酸エッチングでパターン化できる
4. 安定性が高い
5. 耐久性が良い
そして、ITOは業界での最も広く使用されている透明導電酸化物(TCO)材料であり、透明発熱体、帯電防止フィルム、電磁波保護フィルムなどの電子、光学、オプトエレクトロニクスデバイスで広く使用されています。