ITOの製膜方式

業界でITOガラスを作る方法はたくさんあります。
例えば：
1.化学蒸着
2.電着
3.熱蒸発/真空蒸発
4.スパッタリング
5.パルスレーザー蒸着
6.スプレー熱分解法
7.ゾルゲル法
8.コーティング
9.熱酸化法　等

上記の成膜方法にはそれぞれの利点があります。
但し、業界によく使われるのはスパッターリングです。何故ならば、より短い時間で成膜でき、膜の緻密性と密着性が良い、大面積の成膜が出来と多層成膜が出来る色々なメリットを持っています。